Přizpůsobení se změnám v prostředí výrobního závodu a ekologicky šetrným materiálům
S rostoucími požadavky na produktivitu a kvalitu ve výrobě polovodičů se přesná regulace teploty na povrchu waferů stává klíčovou pro výkon zařízení. Naše pokročilá technologie řízení teploty, vyvíjená po mnoho let, zajišťuje rovnoměrnou regulaci teploty v několika bodech na povrchu waferu.
Aplikace: regulace teploty povrchu waferů
Prostředí v místě určení expedice zařízení je odlišné a úpravy PID se musí provádět opět na místě. Nastavení PID je nutné pro každý typ obrobku, což časově prodlužuje přechod na nový typ.
Naše řešení: modulární pokročilá regulace teploty
Naše jednotka NX-TC pro řízení teploty zbavuje výrobní závody obtížných prací při uvádění do provozu a seřizování. Zachycuje změny podmínek, které mohou mít vliv na kvalitu, stejně jako by to dělal kvalifikovaný pracovník, a automaticky provádí nastavení PID, aby zajistila regulaci teploty, která neustále udržuje optimální podmínky.
Díky technologii „adaptivního řízení“, která je součástí tohoto produktu, se optimální hodnoty PID vypočítávají automaticky jak pro dobu uvedení do provozu, tak pro dobu stabilní výroby. Kromě toho je možné sledovat stav regulace teploty stroje a automaticky upravovat hodnoty PID pro dosažení optimálního řízení teploty v reakci na změny, jako jsou změny obrobku a změny stroje.
Automaticky potlačuje změny teploty způsobené narušováním předepsaných postupů
Poskytuje stabilní automatické řízení proti předvídatelným teplotním výkyvům. Přispívá ke zlepšení kvality a pomáhá zvýšit výrobní kapacitu zkrácením čekací doby do stabilizace teploty.
Aplikace: přesná regulace teploty při narušování výrobního procesu
Díky pokročilému balení a vysoké integraci polovodičů se přísná regulace teploty stala nutností. Narušování předepsaných postupů způsobuje teplotní výkyvy, které ovlivňují kvalitu. Doba čekání, než se teplotní výkyvy způsobené rušením předepsaných postupů ustálí, brání zlepšení výrobní kapacity.
Naše řešení: pokročilá regulace teploty
Funkce potlačení narušování výrobního procesu je řídicí funkce, která automaticky potlačuje výkyvy teploty, u nichž se předpokládá, že budou způsobeny předvídatelnými poruchami. Spouštěcí signály zadané do řídicí jednotky teploty před výskytem tohoto rušení zapnou funkci, která přičítá nebo odečítá manipulovanou veličinu (MV). Automatické ladění narušování výrobního procesu automaticky upravuje MV FF (posunu vpřed), dobu činnosti FF a čekací dobu FF.
Řídicí jednotky teploty NX-HTC a NX-TC, zajišťují stabilní automatickou regulaci proti předvídatelným výkyvům teploty, např. způsobeným infiltrací venkovního vzduchu při otevírání a zavírání dveří. Jednotky NX-HTC a NX-TC přispívají ke zlepšení kvality a pomáhají zvýšit výrobní kapacitu zkrácením čekací doby do ustálení teploty.
Podporující technologie
Související produkty
Miniaturizovaná řídicí jednotka pro řízení produktivity a sdílení informací
Modulární jednotka pro řízení strojů řady NX1 nabízí funkce logické sekvence, řízení pohybu i sdílení informací. Jednotka NX1 představuje spojení světa výroby a informačních technologií. Minimalizuje vývoj a údržbu a současně potlačuje nutnost používat middleware.
Nová generace regulátorů
Model NX-TC je řídicí jednotka nové generace, která dosahuje optimální a automatické regulace teploty bez zásahu člověka. Model NX-HTC jde ještě o krok dál ve snaze zabránit anomáliím v důsledku nesprávné montáže/údržby stroje a omezil počet hodin strávených jejich analýzou a opravou.
Výkon a praktičnost pro řízení strojů
Moderní řízení strojů vyžaduje synchronizaci pohybu os na systémové úrovni s přesností v řádu mikrosekund. Systém NX I/O tuto přesnost časování a opakovatelnost pro širokou řadu vstupů a výstupů nabízí. Jeho velmi rychlá interní sběrnice je synchronizována s distribuovanými hodinami sítě EtherCAT a výsledkem jsou deterministické operace vstupů a výstupů na systémové úrovni.
Chcete se dozvědět víc?
Kontaktujte naše odborníky
Kontaktujte nás Regulace teploty u waferů
Děkujeme Vám za odeslání vašeho požádavku. Budeme Vás kontaktovat co nejdříve.
Objevili se technické potíže. Odeslání Vašeho formuláře nebylo úspěšné. Prosím přijměte naši omluvu a zkuste to znovu později. Podrobnosti: [detaily]
Download